材料科学论文_高分子辅助沉积法制备LaNiO_(3)

文章摘要:近年来LaNiO₃（LNO）作为铁电超晶格、超导异质结和催化剂材料引起了人们的广泛关注。本研究采用简便、低成本的高分子辅助沉积法（Polymer Assisted Deposition， PAD），在（001）取向的SrTiO₃（STO）单晶衬底上制备了导电性能优异的LNO外延薄膜，并对其进行了各种结构和电学表征。摇摆曲线半高宽为0.38°，表明LNO薄膜结晶度良好。高分辨XRD φ扫描进一步证实了LNO薄膜在STO衬底上是异质外延生长的。原位变温XRD测试进一步原位表征了LNO薄膜的外延生长过程。结果表明，聚合物分解之后金属阳离子在单晶基体上有序释放并外延结晶。XPS结果表明，采用PAD制备的LaNiO₃薄膜不存在氧空位。薄膜表面粗糙度为0.67 nm，表明其表面光滑。在10～300 K温度区间内的变温电阻率表明LNO薄膜具有良好的导电性能。上述结果表明：PAD制备的LaNiO₃薄膜具有较好的综合性能，PAD在制备外延功能薄膜材料方面具有很大的潜力。

文章关键词:LaNiO₃,导电薄膜,高分子辅助沉积法,外延,

项目基金:National Natural Science Foundation of China (11774366),International Partnership Program of Chinese Academy of Sciences (GJHZ1821),